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MR傳感器
在本公司開發的特殊磁性材料中,使用具有高精度磁記錄的柵尺。此外,通過帶有的檢測模式的MR傳感器(起磁阻作用的元件)消除了諧波失真分量,從而使柵尺在保持高精度的同時,還能夠適應惡劣的環境和劇烈的溫度變化。
耐結露和耐油性能
由于磁柵尺采用磁性檢測方式,所以不易受到機床上不可避免的結露和油污的影響,即使在惡劣的環境下,也能獲得穩定的高精度
絕對式磁柵尺的檢測原理
在柵尺上會記錄2個磁道的模式。增量式磁道上刻有等間隔的SN Pitch信號,另一個磁道為了實現被稱為M-編碼的絕對式(絕對位置)而刻有區號。磁性檢測采用專為柵尺開發的特殊MR元件,實現了高靈敏度和低失真。
Magnescale擁有的內插處理技術,實現高分辨率
內插處理技術是一種將從磁柵尺檢測到的信號波形精確地分割成所需間距(細度)的技術。例如,智能磁柵尺從以400μm的間距刻出的磁刻度檢測到相位差為90度的兩個正弦波。現在將其進行電分割,但如果信號包含失真,則無法獲得準確的位置信息(真值)。從柵尺檢測到的信號中去除DC分量,實時進行電平調整和相位調整,并通過高級處理進行80,000次分割,以獲得分辨率為5nm的位置信息。